第1340章鸟枪换炮
周日的早晨,天音芯片厂车间里,段云以及吴刚带领的7名技术人员,还有那两名荷兰工程师,早早就等待了无尘车间的C区,准备对新生产线进行最后的测试。
吴刚等7名技术人员全部签订了保密协议,他们也是整个芯片厂几十名技术人员中,少数有资格进入C区的工作人员。
因为这4台阿斯麦光刻机还属于禁运产品,为了不给阿斯麦公司造成麻烦,段云对新生产线的消息进行了严格封锁,并且将机器上的logo和标识全部刮除,重新刷上了一层防锈漆,整个机器找不到关于厂家的任何标志。
另外C区连接目前东芝生产线的A区只有一个产品通行传输带,从东芝生产线生产出来的晶圆片会通过传输带运到C区,经过光刻处理之后,再重新传送到A区,新车间非常的隐蔽,人员过道还加装了磁卡门禁,这道门禁支持录入20张磁卡,没有磁卡的人是无法进入C区的。
“可以开始了吗?”一切准备就绪之后,段云对两名荷兰工程师问道。
“可以了。”文森特应了一声,然后坐在控制台上,输入一串密码后,启动了光刻机。
相比于日本的东芝光刻机,阿斯麦的光刻机外观看起来更加的紧凑,主要分为三个部分,曝光台,测量台,以及拥有两个显示器的操作台。
随着操作台主显示器上一串代码闪过之后,曝光台开始发出了轻微的嗡鸣声,紧接着圆晶片开始进入光刻阶段。
这一刻在场的所有的人都屏住了呼吸,空气仿佛都凝固了一般。
因为没有一微米制成芯片技术的掩膜,所以段云采用的还是东芝公司三微米制程技术的flash闪存芯片掩膜,同时还有学习机上专用的仿制版6微米制程的6052芯片掩膜。
很快,10片圆晶片只用了不到5分钟就完成了光刻程序,经过传输带,传回了A区的生产车间,在那里,这10片圆晶片还有经过蚀刻等一系列工序处理,最后进行成品率检验。
完成10片Flash芯片圆晶片光刻处理之后,两名阿斯麦的工程师又重新更换了掩膜,准备再加工20片6052仿制品的芯片。
6微米的制成技术还是上世纪70年代末的水平,因为内部结构要比flash芯片简单的多,所以加工效率也非常的高,20块圆晶片只用了不到4分钟就加工完成,自然在场的所有人,包括段云在内,都感到了惊讶。
因为之前用东芝的光刻机加工这种芯片,20块圆晶片起码需要8~9分钟左右,而阿斯麦的这台光刻机效率整整快了一倍。
在芯片领域,技术代差不仅仅意味着产品技术的提升,同时也代表着生产效率的提高以及成本的大幅降低,最早的6052芯片
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