第1372章历史时刻
段云同样需要突破的还有光刻机技术,而这其中。
顶级的光源,高精度的镜头和精密仪器制作技术是EUV光刻机三大核心技术,阿斯麦的光源来自收购的子公司Cymer;镜头来自深度绑定的蔡司;精密仪器则自身拥有多年的经验和专利积累。
其实从后世的芯片产业发展来看,国产光刻机在光源方面,以及光刻机对准台方面,都已经得到了重大突破,达到了国际先进水平,中国的极紫外光也是相当厉害的,所以光源和工作台并不是制约国产光刻机的最主要因素。
而真正制约国产光刻机发展的是光刻机的镜头镜片,阿斯麦能够成为光刻机领域的老大,其最核心的技术就是来自于蔡司的光学镜片。
德国蔡司是一家老牌光学厂商,早在1890年就开始生产相机镜头,这家公司在行业的影响力不仅仅是卖相机镜头,蔡司还从事高端光刻机高精度镜头制造,荷兰阿斯麦公司制造的光刻机基本上都是采用蔡司镜头。
早年的时候日本尼康佳能凭借很好的光学技术底子,也能生产出技术先进的光刻机,然而进入90年代之后,随着芯片制程技术的不断提高,尼康佳能都曾经尝试去做更高的光刻机镜头,但结果都失败了,只能放弃,在这个地球上,高精度的放大镜只有德国蔡司镜头可以生产。
光刻机对镜头的要求有多高,从他的技术构造上就可以看出来。
位于光刻机中心的镜头,有20多块锅底大的镜片串联组成,镜片必须是高纯度透光材料加高质量抛光,而这种镜面材质要做到均匀,至少需要几十年到上百年的技术积累。
同一个镜片,不同工人去打磨,光洁度相差10倍。
德国蔡司公司里抛光镜片的工人,祖孙三代在同一家公司的同一职位。
如果把阿斯麦光刻机的光学镜片表面比作一个德国领土的话,那么这上面的建筑物误差不能高于两厘米,由此可见,这种光学镜片的精度达到了令人匪夷所思的程度。
现在蔡司是被阿斯麦公司控股,段云想从蔡司公司获得高精度光刻机镜片是不可能的事情,他唯一能做的就是支持国产光学镜片的研发工作。
段云通过了解,得知这次入驻深圳科技园的国内光学企业共有三家,两家来自于BJ,一家来自于上海。
这些光学研究所最早都是研究眼睛镜片的,无论从企业底蕴还是技术实力上来说,和蔡司,尼康,佳能等国际大厂差距非常大,有很多的技术瓶颈需要突破。
但好在80年代。光刻机的技术远没有后世2000年以后极紫外光刻机那么复杂,段云如果能够长期对这些企业保持资金投入的话,是有机会追赶这些国际大厂的。
而一旦光刻机的光学镜
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